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燒結爐是一個通過用高溫加熱把物體或物質的形狀縮小的設備。它可以將物體中的空隙減少,晶界逐漸聚攏,固體顆粒逐漸連接,從而實現(xiàn)密度增加,物體減小的多晶燒結體的設備。在1800度高溫燒結爐開始燒結之前要先確認每個加熱燈管是否可以正常運行。檢查各個溫區(qū)的燈管輸出的功率是否高于其他溫區(qū)燈管的平均值,來保證燒結的平均性。
很多人都比較關注運行實際的峰值溫度。燒結爐一個溫度范圍,太高的話算為過燒,過低的話算是欠燒。這兩種情況都不是燒結效果。把握好溫度的控制是找到燒結溫度范圍的關鍵點。如何判斷是欠燒還是過燒?請參考燒結爐上的電性能參數(shù),可以通過它來判斷。當無法判斷燒結的狀態(tài)時可以調節(jié)8區(qū)的溫度,找到大概的調節(jié)點,然后緩慢進行微調。微調的時候我們可以通過背場的狀態(tài)來判斷,如果背場微微鼓起,那么就是出于過燒,所以應微調降低溫度。
欠燒時,穿透氮化硅的銀漿留有殘余,那么進入N型層的銀漿也比較少,歐姆接觸效果不好,會造成串聯(lián)的電阻較大。過燒時,銀的消耗量會較平時多一些,而且會形成有銀硅形成的混合層,這個混合層會起到阻礙的作用,同樣也會形成串聯(lián)的電阻過大。所以單單通過電阻不能推斷是欠燒還是過燒狀態(tài)。